知青回城搞科研[八零] 第47节
李筠听着夸赞的话，双手丝毫没有受到影响，纹丝不动地继续勾勒线条，嘴里解释道： “之前就一直对电路设计感兴趣，多学了一手。” “原来如此，怪不得有人说曾经在张教授那边看过去，你之前应该就是跟着张教授学习吧？” “张老师是我们大一专业课的老师，非常乐意教授知识，我也就学了一点皮毛。” 这个消息，秦浩和黎绵都像是第一次听到，脸上露出惊讶的表情，李筠一抬头就看到这副表情。 “怎么了？” “我听说张教授不是连研究生都不带了，还去带本科生啊。” 两人是真的羡慕，本科毕业之后读了研究生，由于历史原因前几年都待在鸟不拉屎的地方负责研究工作，这两年局势稳定之后，才从里面出来，刚进入研究所没两年，就遇到李筠这样的妖孽级人物，真的是不知道该说什么好。 都没遇到过张教授这种级别的大牛授课，能在姜文泽教授手下做事，那也是正巧碰到了研究所缺人的好时候。 李筠不知道两人心中的千回百转，落下最后一笔之后，对着两人喊道： “完成了！” 说着，就把完整的图纸递到两人眼前。 虽然秦浩刚刚还觉得他们绘制的图纸制作出来的机器费事，可当看到图样的那一眼，还是被它精妙的设计所折服，露出痴迷的眼神。 黎绵更是激动到不能自已，小心翼翼地接过图纸，生怕自己一个不小心用力就撕坏了。 “小筠你这不止是用眼做尺子，这美术功底也不差，看起来都不像是硬邦邦的铁疙瘩。” “图纸绘制好之后，我们是要交给秦师兄之前所说的朱宏治来制作吗？” 秦浩摇摇头，解释道：“如今的变化如此大，交给他已经不能处理，我会拿着图纸去问闫师兄的。时间不早了，你们俩先去吃饭，我去找闫师兄说事，顺便一起吃饭。” 黎绵摸摸自己饥饿到肠鸣的肚子，微微一笑，“那就麻烦你了。” 黎绵和李筠就这样安心地去吃饭，而秦浩则是带着刚刚出炉的图纸，找到组长闫旭东。 “咚咚咚！” “请进！” 秦浩推开门，看着还在里面继续忙碌的闫旭东，忍不住提醒一句：“闫组长，该到吃午饭的时间了。” 闻言，闫旭东转头往窗口看去，发现烈日正悬在头顶，的确是是大中午的时候。 随后，又立马回头，看向进屋的秦浩，问道：“你这是有什么事来找我？我记得你们三个不是一直在为新的激光器在忙吗？” 秦浩慢步走向前，从自己手里的图纸铺在闫旭东身前的桌上，介绍道： “这就是我们三个这些天集思广益想出来的图纸，当然闫组长也明白，最重要的还是李筠，她的脑子不知道是什么东西做的，居然可以把我们的想法完美在纸上复制下来。 原本我们是想着时间紧任务重，就着现在成熟的激光器改动一点内部构造，但是随着讨论的越来越深入，我们发现那样的改造是完全不够的，不足以支撑后面的实验。 因此耗费的时间有点长，现在才把图纸交上来。同时，这个激光器的制作恐怕需要专门的人员负责，无法自己动手改造。” 闫旭东一边听着秦浩的介绍，一边仔细看着眼前精巧的图纸。 只需一眼，就能给明白秦浩话里的意思，虽然这张图的构造比起之前要复杂不少，可也正因为是这样，这台激光器发射的电子束会更加稳定，安装的换气装置也会更加安全，形成的准分子激光自然不会差到哪里去。 他双眼放光地看着眼前的图纸，久久没有回话。 沉默许久之后，抬头看了一眼对面的秦浩，夸赞道：“你们三个真的很厉害，耗费一点时间不算什么，只要能够做出让人惊艳的作品就行，而且相较于其他人的任务，你们的任务更重。 把图纸交上来之后，这边你们暂时就没有什么事情需要忙了，老师会尽快给你们安排新的任务，这台激光器也会尽快制作出来。” “这样我们就放心了，那我就先离开了。” “你先去吃饭，顺便休息一下。” 秦浩点点头，转身离开。 依旧端坐在椅子上的闫旭东，还在震惊地看着眼前的图纸。 虽然秦浩没有说明，但他很明显能够看出来，虽然这台激光器经过了大改造，但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。 也就意味着当它制作出来之后，能够完美地与其他光刻机设备融为一体，届时操作将会更加简便和稳定。 能够在完成大改造的同时，也注意到这些细枝末节，很不简单。 这个小项目的顺利完成，也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步，对方现在可是再不停地催促。 他感觉最近老师的白头发都多了不少，估计是烦的。 因为合作的原因，闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午，第二天三人就被分配了新的任务。 李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。 说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。 人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。 可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。 李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。 物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。 对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。 唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。 负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。 终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。 她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。” 说完，她也不等两人回答，转身离开。 于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道： “那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。” “没问题。” 李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。 拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。 和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。 之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。 刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。 这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。 于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。 对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。” “可以。” 李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。 依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。 于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。 很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。 因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。 但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。 于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。 不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。 他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断： “等等！这样就很好了，你先别动。” 由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。 李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？” “你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。” 众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道： “你们先别停，我去看看情况。” 众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。 赵蔓到达时，看到的就是一人站在观察位不动，一人飞速记录的场面。 她的目光随即转移到李筠身上，疑惑地问：“你们这边是出了什么问题吗？” 李筠摇摇头，眼神看向一旁的于亮。 于亮没有回答两人的问题，继续在记录册上写写画画，好一会儿才停下自己的手，因为长时间高强度的使用，还情不自禁地甩甩自己的手腕。 而后勾起嘴角，眼神当中几乎是藏不住的喜色，看着一旁的赵蔓激动地说： “我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数，赵师姐，你看。” 说着，就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。 第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技，把物镜的角度画得乱七八糟，她根本看不明白，果断移开视线，看向上面记录的数据。 当她看到成像比例的时候，眼睛瞬间睁大，眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。 忍不住夸赞出声道：“你们俩非常了不起，这个发现我要赶紧告诉教授，你们俩这边暂时别动，等会儿教授也要过来看。” 说罢，带着手里得到记录册通通离开。 其他耳朵尖的，也明白是两人这边有了新发现，赶紧放下自己手里的东西围过来看，叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。 等到赵蔓带着赵本民教授来的时候，看到的就是这样一副闹哄哄的场面。 她赶紧加大的音量喊道：“都让让！都让让！教授来了。” 话音刚落，人群若鸟兽散，迅速给赵蔓和赵教授让出一条路，此时的李筠也早已经离开了观察位，与于亮站在一起。 赵本民看着眼前的机器，侧头问了赵蔓一句，眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。